
近日,重庆市经信委、市财政局共同公布“重庆市首台(套)重大技术装备产品名录”,中科摇橹船自研的Micro-LED晶圆外观检测系统获“首台(套)重大技术装备”认定。
据介绍,首台(套)重大技术装备,是指经过创新研制,在品种、规格等方面形成重大突破,具有知识产权但处于市场推广初期的产品,具备创新性强、技术含量高、产业带动作用明显、市场潜力大等特点。

此次公布的47件装备产品,属于第四批首台(套)重大技术装备。中科摇橹船自研的Micro-LED晶圆外观检测系统,突破了制约Micro-LED显示技术大规模商用的关键技术瓶颈。

Micro-LED被视为颠覆显示产业的“终极显示技术”,但其大规模商用受困巨量芯片精准转移难、坏点检测难两大技术瓶颈。
在Micro-LED生产过程中,需将数百万颗尺寸小于50微米的芯片,从晶圆上依次精准转移至驱动电路基板上,且在转移前必须准确检测出有缺陷的芯片。这两项操作难度极高,导致Micro-LED显示屏产品良率低,最终推高了企业和消费者的成本负担。
早在2023年初,面对某半导体龙头企业的紧急技术需求,中科摇橹船组建了一支20余人的攻坚团队启动该项目,目标直指国产替代。
项目执行过程中,面对缺乏行业数据的困境。研发团队一方面采用异常检测算法,让没有缺陷的样本去找缺陷芯片,解决了缺陷数据不足的问题。另一方面,设计了全新的标定板,创新推出了适用于Micro-LED芯片转移定位的标定方法。

历经近两年的反复打磨与技术迭代,Micro-LED晶圆外观检测系统成功面世,在芯片检测环节,将漏检率控制在0.01%以下;在芯片转移环节,实现了微米级的取放重复定位精度。该装备于2024年初接入产线后,客户核心生产线的检测效率提升60%,生产成本降低30%,产品良率达99.99%。
未来,中科摇橹船将继续坚持“硬科技驱动高质量发展”,深耕“光+AI”领域,以更多自主研发的高端智能感知装备,为半导体及智能制造业发展注入澎湃动能。
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中科摇橹船晶圆检测装备获首台(套)重大技术装备认定网络2026-01-19 14:56
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